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聚氨酯油漆光敏现象的机理研究和光波导材料

                 聚氨酯油漆件领域研究热点之利用硅基和石英基S02光波导伎术制作的马赫曾德尔型Mch-Zede干涉仪光开关阵列光功库分柬器阵列波导光栅WG等光波导器件已经在密集彼分复用光纤到户FH等光通信系统中得到了越来越广泛的应用掺锗SO薄膜平面光波导传输损耗低可月紫外教光直接写人等方式来改变折射率并可通过改变锗含量热处理时间或温度等改变薄膜波导折射率和光敏性是制备薄簇黄孩导Bgg先栅光调制器光开关窄带反射滤波器分束器渭合器等集戊光学元器件的重要光波导掺锗S02薄膜平面彼导近来发展教快在集成光学中的应用将愈加突出〔石英平面光波导制备方法随着现代新工艺技术的发展
                   聚氨酯油漆高质最掺锗Sne薄膜平面波导发展迅速目前掺锗S02薄膜平面波导的主要制备方法有火焰水解沉积法FHD化学气相沉积CD感应溯合等离子增强化学气相沉积CP-CD激光反应沉积LD磁控溅射等表111比较了石英平面光波导的制备方法特点现将其特点介绍如火焰水解沉积法FHD[31s]火焰水解沉积去以等为前驭物以气相形式混合通人H2/O或焰中反应温度约15001C生成的SO与GeO非晶态领泣沉积在石英等基片上为调整波导折射率降低e02-S02 晶态颗粒的熔融温度等可在前驱混合物中加人BC13 POC13等薄膜淀积之后在600℃以上的H2/He还原气氛下进行热交理以产生定
                   聚氨酯油漆氧空位缺陷最后薄膜在空气中冷却薄膜的成分可通过调控SC14 GeC1的流量来控制该方法常用于制备低拟毛平面光波导但随着GeO含量的增加薄膜中的戌胃应力增加导致薄膜产生裂纹因而很难得到波导包层与芯的沂付感应藕合等离子化学气相喝畸CP-CD 石英平面光波导自1978年Hll首次报道掺锗石英光纤紫外光敏现象以来巨大的商业应用前景E动人们开展了大量的相关研究工作特别是其在光通信系统和光纤传感网络中的应用研究过去的20多年在对辐射诱导光敏现象的机理研究和光波导材料